Intensitätsverlauf Cavity Ring-Down Spektroskopie

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Cavity Ring-Down Spektroskopie (CRDS)

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406 – Absorptionsspektroskopie an molekularen Gasen

Innerhalb der Plasmaphysik sind die Bestimmung der Plasmaparameter wie Temperatur, Druck, Dichten, eingekoppelte Leistung und Zusammensetzungen u. a. wichtig für die Steuerung der Plasmaprozesse wie z. B. Beschichtung, Sputtering oder für das Verständnis der zugrundeliegenden Plasmachemie. Die Absorptionsspektroskopie stellt dabei, im Gegensatz zur Sondenmessung (z. B. Langmuir-Sonde), eine nicht-invasive Diagnostik dar – d. h. das Plasma wird durch die Diagnostik nicht oder nur geringfügig verändert. Bei der hier verwendeten Methode wird die Absorption in Abhängigkeit derWellenlänge entlang einer Linie durch den Probenraum – hier der Plasmareaktor –, in dem sich das zu diagnostizierende molekulare Gas (Methan) bzw. das Methanplasma befindet, bestimmt und erhält linienintegrierte Absorptionsprofile. Als Strahlungsquelle wird hierbei ein Diodenlaser im infraroten Spektralbereich (~ 1,648 µm) verwendet, da in diesem Bereich für Methan (CH4) vier stark absorbierende Linien vorliegen.

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